R-116制冷劑，別名R116、氟利昂116、PFC-116，商品名稱有Reflube 116、Freon 116等，中文名稱六氟乙烷，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，化學式C2F6。R-116屬于PFC類物質——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應；目前對于R116制冷劑的生產、銷售以及在新制冷設備上的初裝、售后設備上的再添加均沒有限制。
R-116主要用途
R-116作為一款特種超低溫制冷劑，主要應用于要求溫度非常低的深冷設備中（包括科研制冷、醫用制冷等），R116同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。六氟乙烷是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
R-116物化性質
| 冷媒名稱 | R-116 |
| 分子量 | 138 |
| 沸點（1atm），℃ | -78.2 |
| 臨界溫度，℃ | 19.7 |
| 臨界壓力，kPa | 2980 |
| 飽和蒸氣壓（25℃），kPa | 2950 |
| 汽化熱/蒸發潛熱（沸點下，1atm），kJ/kg | 117.2 |
| 破壞臭氧潛能值（ODP） | 0 |
| 全球變暖潛能值(GWP，100 yr) | 9200 |
| ASHRAE安全級別 | A1（無毒不可燃） |
R-116冷媒包裝
可重復使用高壓鋼瓶包裝（需回收包裝鋼瓶）：5kg/瓶，30kg/瓶。
R-116儲存、運輸
R-116制冷劑鋼瓶為高壓容器，儲存時應遠離火種、熱源、避免陽光直接曝曬，通常儲放于陰涼、干燥和通風的倉庫內；搬運時應輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門等附件破損。
